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华灿光电(苏州)有限公司污染物排放、污染防治 设施运行及监测情况
2019-05-10

废水防治措施

        厂区排水系统采用清污分流、雨污分流体制。废水包括生产/公辅废水和生活污水。生产、公辅废水又分为含氮废水、综合废水、冷却设备排水。含氮废水经厂内处理后回用;综合废水(不含氮废水、酸碱废水、研磨废水)经综合处理后与生活污水混合,一并接入区域污水处理厂处理,达到《城镇污水处理厂污染物排放标准》(GB18918-2002)一级A标准及《太湖地区城镇污水处理厂主要水污染物排放限值》(DB32/1072-2007)污水处理厂I类标准后,排入二干河;

废气防治措施

        1.外延厂房

        外延厂房产生的废气主要有外延炉尾气。外延炉尾气主要成分为氨和少量粉尘,各台外延炉尾气先分别经炉内自带除尘过滤器过滤后再经管道汇合后一起通入氨回收处理设备处理,处理后的废气经排气筒达标排放。烤盘过程产生的氯化氢和少量未反应的氯气,经管道收集后送至碱液喷淋吸收塔处理,经排气筒达标排放。外延片生产过程中产生的粉尘、甲烷和未完全反应的砷烷、磷烷先经炉内自带除尘过滤器过滤粉尘,再经管道汇合后一起通入次氯酸钠溶液吸收处理装置处理经排气筒达标排放。

        2.芯片厂房

        芯片厂房产生的废气主要是外延片酸洗过程产生的酸洗废气(硫酸雾)、进行SiO2钝化、沉积时未反应的硅烷和笑气(氮氧化物)、ICP刻蚀时未反应的氯气、SiO2刻蚀产生的氟化物、钝化、BOE刻蚀时产生的氟化氢、ITO刻蚀过程中产生的氯化氢都经收集后送至碱喷淋吸收,然后通过排气筒达标排放;光刻产生的非甲烷总烃,去胶、去蜡产生的丙酮、乙醇、异丙醇和非甲烷总烃收集后送至RTO处理装置处理,然后通过排气筒达标排放。

        3.食堂

        食堂烹饪油烟经脱油烟机处理后通过排气筒达标排放。

 噪声防治措施

        公司生产设备属于精密设备,噪声值较低,且都位于封闭的车间内,主要噪声源为公辅工程的冷却塔、空压机、风机、水泵、气体纯化器等,源强在77~85dB(A)。为降低噪声排放对周围环境的影响,选用高效低噪声的设备,高噪声设备均布置在室内或者不同时使用,合理布置厂区平面布局,利用隔声、减震、吸声、消声、绿化等措施控制厂界噪声。

        公司每年会对废水、废气、噪声进行年度检测,检测结果均符合国家标准,2018年11月底委托江苏雁蓝科技有限公司对公司废水、废气、噪声进行了检测,检测报告编号为(2018)环检(综)字第(W0952-01)号,检测数值均符合标准。

 


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